萬級凈化車間標準(按塵粒數(shù)目和微生物數(shù)目來定義的): 塵粒最大允許數(shù)(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過350000個,大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2000個; 微生物最大允許數(shù): 浮游菌數(shù)不得超過100個每立方米:, 沉降菌數(shù)不得超過3個每培養(yǎng)皿.
10萬級潔凈車間標準(按塵粒數(shù)目和微生物數(shù)目來定義的): 塵粒最大允許數(shù)(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過3500000個,大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過20000個; 微生物最大允許數(shù): 浮游菌數(shù)不得超過500個每立方米:, 沉降菌數(shù)不得超過10個每培養(yǎng)皿.30萬級潔凈車間標準(按塵粒數(shù)目和微生物數(shù)目來定義的): 塵粒最大允許數(shù)(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過10500000個,大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過60000個; 微生物最大允許數(shù): 浮游菌數(shù)不得超過1000個每立方米:, 沉降菌數(shù)不得超過15個每培養(yǎng)皿.
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